上海AI實驗室聯合團隊攻克芯片核心材料光刻膠穩定制備難題_快訊

上海AI實驗室聯合團隊攻克芯片核心材料光刻膠穩定制備難題

來源：梓悠時間：2026-05-12 10:20:06

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上海人工智能實驗室官微消息，光刻膠作為芯片制造的核心材料之一，其質量直接影響芯片的性能和成品率。近日，依托2030新一代人工智能國家科技重大專項總體部署，上海人工智能實驗室（上海AI實驗室）聯合廈門大學、蘇州國家實驗室等合作單位基于“書生”科學大模型與“書生”科學發現平台，構建了“AI決策+自動化合成”的閉環研發體系，實現了高純度、高一緻性、高效率的KrF光刻膠樹脂創制。這一突破使高端光刻膠樹脂的穩定制備不再依賴于極少數國外供應商的“黑箱能力”，為全球芯片材料領域探索出一條可标準化、快速疊代的新路徑。目前，上述平台已支撐多批次自動化合成與性能驗證，批次間一緻性得到顯著提升。其中，廈門恒坤新材料科技股份有限公司基于光刻膠配方開發經驗，完成了樹脂适配，産業關鍵指标均達預期後續将進入客戶端驗證階段。

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