【我國新一代光刻機模型亮相】11月5日至10日，第九屆中國國際進口博覽會在上海舉行。會上，一系列重磅科技亮相。上海微電子裝備集團攜自主研發的新一代前道幹式掃描投影光刻機SSC800、SSB800（模型）亮相中國館，展示我國前道光刻裝備自主化的階段性成果。據悉，目前國産前道幹式光刻機成像性能已與國際同類領先産品水平相當，套刻精度、生産效率緊密追趕國際标杆。（上證報）
來源：Jiajia 時間：2026-11-08 16:18:08
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【我國新一代光刻機模型亮相】11月5日至10日，第九屆中國國際進口博覽會在上海舉行。會上，一系列重磅科技亮相。上海微電子裝備集團攜自主研發的新一代前道幹式掃描投影光刻機SSC800、SSB800（模型）亮相中國館，展示我國前道光刻裝備自主化的階段性成果。據悉，目前國産前道幹式光刻機成像性能已與國際同類領先産品水平相當，套刻精度、生産效率緊密追趕國際标杆。（上證報）
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